微纳结构动态特性测试仪

9999 366

喜欢

项目基本信息

项目名称：微纳结构动态特性测试仪
项目编号：2018YFF01013200
项目类别：重大科学仪器设备开发
项目负责人：薛超
项目承担单位：天地伟业技术有限公司
实施周期：2018-10 至 2021-09

成果信息

序号	成果名称	成果类型
1	显微激光测量关键部件	关键部件
2	超宽频带振动信号解调模块	关键部件
3	知识产权	论文，发明专利，其他
4	振动特性测试系统及模态分析组件	实验装置/系统，工程工艺，发明专利
5	MEMS面内动态特性测试模块	关键部件
6	MEMS表面缺陷检测模块	新方法，软件，论文
7	设计开发手册	工程工艺
8	MEMS面内动态特性测试模块加工工艺文件	工程工艺
9	安装作业指导	工程工艺
10	设计开发报告	新技术，新方法
11	专利	发明专利
12	论文	论文
13	软件著作权	软件
14	仪器管理软件及数据库	数据库，软件
15	仪器管理软件及数据库	数据库，软件
16	仪器管理软件及数据库	数据库，软件
17	仪器管理软件及数据库	数据库，软件
18	仪器管理软件及数据库	数据库，软件
19	工程开发样机	新产品
20	可靠性测试能力	工程工艺
21	可靠性测试能力	工程工艺
22	可靠性测试能力	工程工艺
23	可靠性测试能力	工程工艺
24	可靠性测试能力	工程工艺
25	可靠性测试能力	工程工艺
26	可靠性测试能力	工程工艺
27	环境适应性测试能力	工程工艺
28	环境适应性测试能力	工程工艺
29	环境适应性测试能力	工程工艺
30	电源设备	其他
31	工程技术方法	工程工艺
32	工程技术方法	工程工艺
33	质量控制能力	工程工艺
34	质量控制能力	工程工艺
35	知识产权	标准，论文，发明专利，其他
36	知识产权	标准，论文，发明专利，其他
37	知识产权	标准，论文，发明专利，其他
38	产业化推广	其他
39	产业化推广	其他
40	产业化推广	其他
41	经营目标	其他
42	经营目标	其他
43	测试工装	实验装置/系统
44	对比测试机制	其他
45	论文	论文
46	声学MEMS器件振动特性测试夹具	实验装置/系统
47	声学MEMS器件振动特性测试夹具	实验装置/系统

科学数据集

序号	数据集名称	关键词	数据类别
1	MEMS芯片谐振测试数据	MEMS；谐振频率；测试	研究报告相关数据
2	薄膜振动测试数据	薄膜；振动	实验装置相关数据
3	MEMS面内动态特性测试模块的测试频率数据集	面内振动，MEMS，频闪驱动，脉冲压缩，相位延迟	检测报告相关数据
4	MEMS面内动态特性测试模块的测试精度数据集	面内振动，MEMS，图像解调、光流法、特征点匹配	检测报告相关数据
5	多频率段典型MEMS器件频率响应拟合分析数据	MEMS,频率响应拟合	图表
6	多频率段典型MEMS器件动态特性仿真数据	MEMS,动态特性	其他
7	超声激励模块输出频率精细扫描实验数据	激励,频率	图表
8	电动二维平台运行位置误差实验数据	二维平台，位置误差	图表
9	微球超长工作距离激光聚焦仿真数据	微球,激光聚焦	图表
10	MEMS表面形貌和缺陷检测模块数据集	白光扫描显微干涉，表面形貌检测，深度学习，检测精确度，检测效率	技术方法相关数据
11	振动频率范围	振动频率范围	实验装置相关数据
12	相对频率分辨率	相对频率分辨率	实验装置相关数据
13	速度分辨率	速度分辨率	实验装置相关数据
14	最大测量速度	最大测量速度	实验装置相关数据
15	振动位移分辨率	振动位移分辨率	实验装置相关数据
16	振幅测试范围	振幅测试	实验装置相关数据
17	微纳结构动态特性测试仪可靠性能力实验数据	安全性检测，成套仪器可靠性	检测报告相关数据
18	微纳结构动态特性测试仪环境适应性能力数据	电源适应性，高低温，恒定湿热	检测报告相关数据
19	微纳结构动态特性测试仪系统软件数据库	超宽频带显微激光离面测振数据，典型MEMS表面缺陷样本数据，	其他