纳米级晶圆光刻标校光栅标准器关键技术研究及计量标准器研制
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项目基本信息
- 项目名称：纳米级晶圆光刻标校光栅标准器关键技术研究及计量标准器研制
- 项目编号：2019YFF0216400
- 项目类别：国家质量基础的共性技术研究与应用
- 项目负责人：邓晓
- 项目承担单位：同济大学
- 实施周期：2019-12 至 2021-11
成果信息
| 序号 | 成果名称 | 成果类型 |
|---|---|---|
| 1 | 自溯源型一维光栅 | 关键部件 |
| 2 | 自溯源型二维光栅 | 关键部件 |
| 3 | 发明专利 | 发明专利 |
| 4 | 论文 | 论文 |
| 5 | 晶圆水平计量传感器 | 关键部件 |
| 6 | 发表论文 | 论文 |
| 7 | 发表专利 | 发明专利 |
| 8 | 晶圆水平计量传感器 | 实验装置/系统 |
| 9 | 晶圆对准计量传感器 | 实验装置/系统 |
| 10 | 发明专利 | 发明专利 |
| 11 | 论文 | 论文 |
| 12 | 线宽一致性传感器 | 实验装置/系统 |
| 13 | 论文 | 论文 |
科学数据集
| 序号 | 数据集名称 | 关键词 | 数据类别 | 操作 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 亚25nm矩形纳米线测试数据集 | 线宽校准,纳米线,蒙特卡洛 | 检测报告相关数据 | |
| 2 | 一维106.4nm周期硅光栅测试数据集 | 硅光栅,标准物质,原子光刻,极紫外光刻 | 检测报告相关数据 | |
| 3 | 二维212.8nm周期铬光栅测试数据集 | 原子光刻,纳米长度,标准物质,分步沉积 | 检测报告相关数据 | |
| 4 | 水平传感器高度分辨力测试数据集 | 水平传感器,莫尔条纹,光栅成像检测 | 检测报告相关数据 |